計量技術(shù)中對工件加工面粗糙度的微觀幾何形狀特性的測量。比較常用的測量方法有比較法、觸針法、光切法和干涉法等。

1. 比較法將表面粗糙度比較樣塊根據(jù)視覺和觸覺與被測表面比較，判斷被測表面粗糙度相當于那一數(shù)值，或測量其反射光強變化來評定表面粗糙度 ( 見激光測長技術(shù) ) 。樣塊是一套具有平面或圓柱表面的金屬塊，表面經(jīng)磨、車、鏜、銑、刨等切削加工，電鑄或其他鑄造工藝等加工而具有不同的表面粗糙度。有時可直接從工件中選出樣品經(jīng)過測量并評定合格后作為樣塊。利用樣塊根據(jù)視覺和觸覺評定表面粗糙度的方法雖然簡便，但會受到主觀因素影響，不能得出準確的表面數(shù)值。

2. 觸針法利用針尖曲率半徑為 2 微米左右的金剛石觸針沿被測表面緩慢滑行，金剛石觸針的上下位移量由電學式長度傳感器轉(zhuǎn)換為電信號，經(jīng)放大、濾波、計算后由顯示儀表指示出表面粗糙度數(shù)值，也可以用記錄器記錄被測截面輪廓曲線。一般將僅能顯示表面粗糙度數(shù)值的測量工具稱為表面粗糙度測量儀，同時能記錄表面輪廓曲線的稱為輪廓儀，這兩種測量工具都有電子計算電路或電子計算機，它能自動計算出輪廓算術(shù)平均偏差 Rα ，微觀不平度十點高度 RZ ，輪廓_高度 Ry 和其他多種評定參數(shù)，測量效率高，適用于測量 Rα 為 0.025 ～ 6.3 微米的表面粗糙度。

3. 光切法光線通過狹縫后形成的光帶投射到被測表面上，以它與被測表面的交線所形成的輪廓曲線來測量表面粗糙度。由光源射出的光經(jīng)聚光鏡、狹縫、物鏡 1 后，以 45° 的傾斜角將狹縫投影到被測表面，形成被測表面的截面輪廓圖形，然后通過物鏡 2 將此圖形放大后投射到分劃板上。利用測微目鏡和讀數(shù)鼓輪先讀出 h 值，計算后得到 H 值。應(yīng)用此法的表面粗糙度測量工具稱為光切顯微鏡。它適用于測量 RZ 和 Ry 為 0.8 ～ 100 微米的表面粗糙度，需要人工取點，測量效率比較低。